沈陽儀表科學(xué)研究院三項科研項目通過科技成果鑒定

近日，由沈陽市科技局成果處主持，在沈陽儀表科學(xué)院召開了三項科研項目的科技成果鑒定會議(沈陽儀表科學(xué)研究院三項科研項目通過科技成果鑒定)。對科技部十一五支撐計劃項目“傳感器測試關(guān)鍵共性技術(shù)研究”、科技部科研院所技術(shù)開發(fā)研究專項資金項目“光密度連續(xù)變化濾光器件”、“SOI壓力傳感器制造工藝研究”進(jìn)行了科技成果鑒定。專家組認(rèn)真審閱了資料，聽取了項目組的詳細(xì)匯報，考察了研制現(xiàn)場及實物，經(jīng)過質(zhì)詢和評議一致認(rèn)為：“傳感器測試關(guān)鍵共性技術(shù)研究”項目突破了高性能傳感器“試驗裝置高效高壓多波形控制”、“批量檢測系統(tǒng)弱信號檢測”、“可靠性強(qiáng)化試驗”等關(guān)鍵技術(shù)，在硅電容傳感器批量測試系統(tǒng)的“夾具設(shè)計”和“補(bǔ)償方法”、傳感器高效高壓試驗裝置的“復(fù)合波形控制”等方面具有**性。成果主要性能指標(biāo)和關(guān)鍵技術(shù)達(dá)到******，對推動行業(yè)技術(shù)進(jìn)步，增強(qiáng)產(chǎn)品市場競爭力，具有重要的支撐作用。
   “光密度連續(xù)變化濾光器件”項目開展了中性漸變薄膜的設(shè)計與制造工藝研究，研制出線性度和中性度良好的光密度連續(xù)變化濾光器件，線性度、中性度均達(dá)到±5%。解決了光密度線性漸變薄膜設(shè)計、中性薄膜鍍制、掩膜機(jī)構(gòu)設(shè)計及掩膜機(jī)構(gòu)運動控制等關(guān)鍵技術(shù)難題，在線性迭代擬合調(diào)速和分段調(diào)速等方面具有**性。研制開發(fā)的濾光器件，*******，并已實現(xiàn)批量生產(chǎn)，主要性能指標(biāo)達(dá)到******。
   “SOI壓力傳感器制造工藝研究”項目開展了SOI壓力傳感器制造工藝的研究，建起具有自主技術(shù)和知識產(chǎn)權(quán)支撐的高溫SOI壓力傳感器制造技術(shù)平臺，實現(xiàn)耐高溫SOI壓力傳感器批產(chǎn)工藝的穩(wěn)定性。采用表面摻雜濃度控制方法解決了低漂移技術(shù)難題，使敏感器件的穩(wěn)定性達(dá)到0. 005%F.S./8h;采用多層薄膜低應(yīng)力匹配技術(shù)，實現(xiàn)敏感芯片重復(fù)穩(wěn)定生產(chǎn)；采用Cr-Ni -Au復(fù)合耐高溫電極制備技術(shù)，實現(xiàn)了敏感芯片在300℃下穩(wěn)定工作。項目成果*******，主要性能指標(biāo)達(dá)到******。鑒定委員會一致同意三個項目通過成果鑒定。
   專家組對沈陽儀表科學(xué)研究院項目組織實施管理給予了較高評價，對項目完成的質(zhì)量給予了充分地肯定，并建議在現(xiàn)有基礎(chǔ)上不斷地發(fā)揮自身優(yōu)勢，進(jìn)一步推廣應(yīng)用并擴(kuò)展應(yīng)用領(lǐng)域

廣開儀器還經(jīng)營：蒸汽老化試驗機(jī)，滴水淋雨試驗裝置，低溫拉伸試驗裝置，低溫卷繞試驗裝置，低溫沖擊試驗裝置，紡纖紡織層的耐熱試驗裝置，電線加熱變形試驗裝置，抗開裂卷繞(熱沖擊)試驗裝置，高溫壓力試驗裝置，熱延伸試驗裝置，球壓試驗裝置，熱壓縮試驗裝置，熱穩(wěn)定性試驗機(jī)，氧彈(空氣彈)老化試驗箱，電線電纜火花試驗機(jī)，材料拉力試驗機(jī)，高壓汞燈紫外線老化箱，二氧化硫腐蝕試驗機(jī)，精密鹽霧試驗箱，真空干燥箱，精密鼓風(fēng)干燥箱，擺管式淋雨試驗裝置，沙塵(砂塵)試驗箱，箱式淋雨試驗箱，臭氧老化試驗機(jī)，氙燈耐氣候試驗箱，紫外耐氣候老化試驗箱，換氣式老化試驗箱，耐黃變老化試驗機(jī)，步入式恒溫恒濕室，高低溫試驗箱，線性高低溫交變濕熱試驗箱，快速溫變試驗機(jī)，兩箱式冷熱沖擊試驗機(jī)         三箱冷式熱沖擊試驗機(jī)，桌上型恒溫恒濕試驗機(jī)，高低溫交變濕熱試驗箱，可程式恒溫恒濕試驗機(jī)，拉力試驗機(jī)配套高低溫箱，液壓萬能試驗機(jī)，微機(jī)控制電液伺服萬能試驗機(jī)，高低溫拉力試驗機(jī)，道瑞式石材耐磨試驗機(jī)，數(shù)顯推拉力計             微電腦拉壓試驗機(jī)，手動拉力試驗機(jī)，電動雙柱型拉力試驗機(jī)，電動拉力試驗機(jī)，拉力試驗機(jī)，桌上型拉力試驗機(jī)               多功能電子拉力試驗機(jī) ，經(jīng)濟(jì)型拉力試驗機(jī)，微電腦拉力試驗機(jī)，電子拉力試驗機(jī)，環(huán)剛度試驗機(jī) ，液晶顯示電子拉力試驗機(jī)，微電腦控制萬能試驗機(jī)，微機(jī)控制電子萬能試驗機(jī)，電子萬能試驗機(jī)，液晶顯示電子環(huán)剛度試驗機(jī)，甲醛釋放量快速檢測儀-氣候箱

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